論文

• Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019), IEEE Conference Paper, IEEE, May 2019.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS, 32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), pp. 684-687, Jan. 2019.  公式リンク  
  
• Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), Nov. 2018.
• Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018), June 2018.
• Shouta Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes, 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sept. 2017.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読有り)

• 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討, 第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019.
• 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ, 第10回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 19am3-PS3-21, Nov. 2019.
• 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉. Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2), 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討, 平成30年電気学会全国大会, Mar. 2018.

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