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大場隆之 2014年 研究業績一覧 (6件 / 45件)
論文
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Mizushima Yoriko,
Kim Youngsuk,
Nakamura Tomoji,
Sugie Ryuichi,
Hashimoto Hideki,
Uedono Akira,
Ohba Takayuki.
Impact of back-grinding-induced damage on Si wafer thinning for three-dimensional integration,
Jpn. J. Appl. Phys.,
Institute of Physics,
Vol. 53,
No. 5,
Apr. 2014.
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Noriyuki Taoka,
Osamu Nakatsuka,
Yoriko Mizushima,
Hideki Kitada,
Young Suk Kim,
Tomoji Nakamura,
Takayuki Ohba,
Shigeaki Zaima.
Observation of lattice spacing fluctuation and strain undulation around through-Si vias in wafer-on-wafer structures using X-ray microbeam diffraction,
Japanese Journal of Applied Physics,
Volume 53,
Apr. 2014.
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Akira Uedono,
Yoriko Mizushima,
Youngsuk Kim,
Tomoji Nakamura,
Takayuki Ohba,
Nakaaki Yoshihara,
Nagayasu Oshima,
Ryoichi Suzuki.
Vacancy-type defects induced by grinding of Si wafers studied by monoenergetic,
Journal of Applied Physics,
AIP,
Vol. 116,
134501,
2014.
特許など
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大場隆之.
半導体装置の製造方法.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学.
2014/09/16.
特願2014-187540.
2016/04/25.
特開2016-062951.
特許第6485897号.
2019/03/01
2019.
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大場隆之.
半導体装置及びその製造方法.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学.
2014/02/28.
特願2014-039730.
2015/09/10.
特開2015-164160.
特許第6440291号.
2018/11/30
2018.
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大場隆之.
血小板産生デバイス及び血小板産生流路装置.
特許.
公開.
国立大学法人東京工業大学.
2014/02/28.
特願2014-039729.
2015/09/10.
特開2015-163060.
2015.
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