|
飯田慎一 2020年 研究業績一覧 (12件 / 48件)
論文
-
Kyotaro Nitta,
Hao-Chun Tang,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Shinichi Iida,
Daisuke Yamane,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Alloy Electroplating and Young’s Modulus Characterization of AuCu Alloy Microcantilevers,
Journal of The Electrochemical Society,
IOP Science,
Vol. 167,
pp. 082503,
Apr. 2020.
公式リンク
-
Kyotaro Nitta,
Hao-chun Tang,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Shinichi Iida,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability,
IEEE Sensors 2019,
IEEE Conference Paper,
2019 IEEE SENSORS,
Jan. 2020.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
-
Takashi Ichikawa,
Kohei Shibata,
Tatsuya Koga,
Katsuyuki Machida,
Shinichi Iida,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer,
International Conference on Solid State Devices and Materials,
Sept. 2020.
-
Takashi Ichikawa,
Ken Atsumi,
Tatsuya Koga,
Daisuke Yamane,
Shin-ichi Iida,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes,
Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS,
June 2020.
-
Tatsuya Koga,
Takashi Ichikawa,
Daisuke Yamane,
Shinichi Iida,
Noboru Ishihara,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing,
The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020),
Mar. 2020.
国内会議発表 (査読なし・不明)
-
柴田滉平,
市川 崇志,
古賀 達也,
町田 克之,
益 一哉,
石原昇,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
-
市川 崇志,
内山晃宏,
古賀 達也,
町田 克之,
石原昇,
益 一哉,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
-
内山晃宏,
市川 崇志,
古賀 達也,
町田 克之,
益 一哉,
石原昇,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
-
内山晃宏,
市川 崇志,
古賀達也,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ,
第81回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
-
市川崇志,
渥美賢,
古賀達也,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第81回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
-
市川 崇志,
渥美 賢,
古賀 達也,
山根 大輔,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討,
第67回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2020.
-
渥美 賢,
古賀 達也,
市川 崇志,
山根 大輔,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第67回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2020.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|