国際会議発表 (査読なし・不明)

• He Wentao, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Yuya Yamashita, Wataru Kikuchi, Shuhei Watanabe, Ayaki Sakurai, Yuchen Ye, Kazuki Shimatani, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatially Resolved Parameter-Measurement of Oxygen ICP via Optical Emission Spectroscopy with Tomographic Analysis, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Americal Physical Society, Oct. 2025.  公式リンク  
  
• Kazuki Shimatani, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Yuya Yamashita, Wataru Kikuchi, Kenta Ishi, Yuchen Ye, Ayaki Sakurai, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution measurement of electron temperature and density of inductively coupled nitrogen plasma by tomographic optical emission spectroscopy, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Oct. 2025.  公式リンク  
  
• Yuchen Ye, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Wataru Kikuchi, Kazuki Shimatani, Hinata Hanyu, Wentao He, Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution of electron temperature and density in argon RF-biased ICP with non-quasi-neutrality effects, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Americal Physical Society, Oct. 2025.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 何 文涛, 清田 哲司, 土居 謙太, 中尾 裕利, 小関 智光, 内記 一宏, Li Kangbai, 大見 俊一郎, 赤塚 洋. トモグラフィー発光分光法による減圧酸素ICPの空間分解計測, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, 第86回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 08-111, Aug. 2025.  公式リンク  
  
• 福本 晃己, 土居 謙太, 清田 哲司, 山下 雄也, 菊地 航行, 根津 篤, 赤塚 洋. 低気圧アルゴンプラズマの空間平均分光計測と局所電子温度・密度との関係, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, 第86回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 08-112, Aug. 2025.  公式リンク  
  
• 中川 茂樹, 横澤 諒, 飯田 大介, 高村 陽太, 中光 豊, 清田 哲司. スパッタＷ膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析, 2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会, 16p-K504-10, Mar. 2025.

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