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清田哲司 研究業績一覧 (4件 / 12件)
国内会議発表 (査読有り)
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Yuchen Ye,
Kenta Doi,
Tetsuji Kiyota,
Wataru Kikuchi,
Wentao He,
Kazuki Shimatani,
Hinata Hanyu,
Yuya Yamashita,
Atsushi Nezu,
Hiroshi Akatsuka.
Comparison of Analytical and Non-parametric Inversion Approaches for EEPFs in Ar ICP based on OES and CRM,
The 73rd JSAP Spring Meeting 2026,
Extended Abstracts of the 73rd JSAP Spring Meeting 2026,
Japan Scociety of Applied Physics,
p. 08-081,
Mar. 2026.
公式リンク
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吉井 大翔,
土居 謙太,
清田 哲司,
叶 宇晨,
何 文涛,
赤塚 洋.
トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
第73回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集,
公益社団法人 応用物理学会,
p. 08-123,
Mar. 2026.
公式リンク
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島谷和希,
清田哲司,
土居謙太,
山下雄也,
菊地航行,
石健太,
榎本純,
叶宇晨,
根津篤,
赤塚洋.
トモグラフィック発光分光法による誘導結合窒素・アルゴンプラズマの電子温度・密度空間分布計測および高分解能シングルチャネル分光とラングミュアプローブによる検証,
第43回プラズマプロセシング研究会,
第43回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス,
公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会,
pp. 61-62,
Jan. 2026.
公式リンク
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何 文涛,
清田 哲司,
土居 謙太,
山下 雄也,
菊地 航行,
叶 宇晨,
渡邊 修平,
根津 篤,
赤塚 洋.
トモグラフィ解析を用いた発光分光法による誘導結合および容量結合酸素プラズマの空間分解計測,
第43回プラズマプロセシング研究会,
第 43 回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス,
公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会,
pp. 59-60,
Jan. 2026.
公式リンク
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