国際会議発表 (査読有り)

• Yuchen Ye, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Kazuki Shimatani, Hinata Hanyu, Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Effects of Bias Power on EEPFs near the Substrate in Argon ICP Measured by a Langmuir Probe, The 46th International Symposium on Dry Process (DPS2025), Proc. DPS2025, Division of Plasma Electronics, Japan Society of Applied Physics, Nov. 2025.  公式リンク  
  
• Wentao He, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Tomomitsu Ozeki, Atsusi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatially-Resolved Measurements Of Electron Temperature And Density Of Oxygen ICP By Tomographic Emission Spectroscopy, The 14th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2025), Program Book of AEPSE2025, International Scientific Committee ofAEPSE2025, p. 81, Nov. 2025.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読有り)

• 島谷和希, 清田哲司, 土居謙太, 山下雄也, 菊地航行, 石健太, 榎本純, 叶宇晨, 根津篤, 赤塚洋. トモグラフィック発光分光法による誘導結合窒素・アルゴンプラズマの電子温度・密度空間分布計測および高分解能シングルチャネル分光とラングミュアプローブによる検証, 第43回プラズマプロセシング研究会, 第43回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 61-62, Jan. 2026.  公式リンク  
  
• 何 文涛, 清田 哲司, 土居 謙太, 山下 雄也, 菊地 航行, 叶 宇晨, 渡邊 修平, 根津 篤, 赤塚 洋. トモグラフィ解析を用いた発光分光法による誘導結合および容量結合酸素プラズマの空間分解計測, 第43回プラズマプロセシング研究会, 第 43 回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 59-60, Jan. 2026.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読なし・不明)

• Yuchen Ye, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Wataru Kikuchi, Kazuki Shimatani, Hinata Hanyu, Wentao He, Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution of electron temperature and density in argon RF-biased ICP with non-quasi-neutrality effects, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Americal Physical Society, Oct. 2025.  公式リンク  
  
• He Wentao, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Yuya Yamashita, Wataru Kikuchi, Shuhei Watanabe, Ayaki Sakurai, Yuchen Ye, Kazuki Shimatani, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatially Resolved Parameter-Measurement of Oxygen ICP via Optical Emission Spectroscopy with Tomographic Analysis, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Americal Physical Society, Oct. 2025.  公式リンク  
  
• Kazuki Shimatani, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Yuya Yamashita, Wataru Kikuchi, Kenta Ishi, Yuchen Ye, Ayaki Sakurai, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution measurement of electron temperature and density of inductively coupled nitrogen plasma by tomographic optical emission spectroscopy, The 78th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2025), Bull. American Phys. Soc., Oct. 2025.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 福本 晃己, 土居 謙太, 清田 哲司, 山下 雄也, 菊地 航行, 根津 篤, 赤塚 洋. 低気圧アルゴンプラズマの空間平均分光計測と局所電子温度・密度との関係, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, 第86回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 08-112, Aug. 2025.  公式リンク  
  
• 何 文涛, 清田 哲司, 土居 謙太, 中尾 裕利, 小関 智光, 内記 一宏, Li Kangbai, 大見 俊一郎, 赤塚 洋. トモグラフィー発光分光法による減圧酸素ICPの空間分解計測, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, 第86回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 08-111, Aug. 2025.  公式リンク  
  
• 中川 茂樹, 横澤 諒, 飯田 大介, 高村 陽太, 中光 豊, 清田 哲司. スパッタＷ膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析, 2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会, 16p-K504-10, Mar. 2025.

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