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大西哲 2022年 研究業績一覧 (5件 / 23件)
論文
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Kohei Shibata,
Akihiro Uchiyama,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Parthojit Chakraborty,
Shin-ichi Iida,
Toshifumi Konishi,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure,
IEEE Sensors Journal,
Vol. 22,
Issue 15,
June 2022.
公式リンク
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Akira Onishi,
Kohei Shibata,
Akihiro Uchiyama,
Katsuyuki Machida,
Taiki Ogata,
Noboru Ishihara,
Hirotaka Uchitomi,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 61,
p. SD1028,
Mar. 2022.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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Taro Omura,
Chun-Yi Chen,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Warpage Characteristics of Gold Proof Mass in MEMS Capacitive Accelerometer,
48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES),
Sept. 2022.
国内会議発表 (査読有り)
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
22a-A406-2,
Sept. 2022.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討,
第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
Aug. 2022.
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