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大西哲 2023年 研究業績一覧 (9件 / 23件)
論文
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Akira Onishi,
Kisuke Miyado,
Devi Srujana Tenneti,
Katsuyuki Machida,
Parthojit Chakraborty,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology,
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
Mar. 2023.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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Syunkai Watanabe,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Dependence of Structural Design on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers,
MNE2023,
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
Sept. 2023.
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Ryosuke Miyai,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Comprehensive Evaluation of Geometric Effects on Long-Term Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers toward Gold-MEMS Capacitive Accelerometer,
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
Sept. 2023.
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御宿 希祐Kisuke Miyado,
Devi.Srujana Tenneti,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Parthojit CHAKRABORTY,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Design Technique of Serpentine Spring with Half Edge Span Beam Length for High Sensitivity Gold Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer,
2023 International Conference on Solid State Devices and Materials,
Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Nagoya, 2023, pp325-326 G-2-02,
Sept. 2023.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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御宿 希祐,
大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之,
TENNETI DEVI,
町田 克之,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討,
第15回集積化MEMSシンポジウム,
第15回集積化MEMSシンポジウム論文集,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会,
Vol. 8A2-D-4,
Oct. 2023.
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御宿 希祐,
大西 哲,
Devi Srujana Tenneti,
町田 克之,
栗岡智行,
CHAKRABORTYP,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集,
Vol. 20p-B201-1,
Sept. 2023.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
町田克之,
CHAKRABORTYP,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
16a-B410-6,
Mar. 2023.
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渡邉 春海,
Chen Chun-Yi,
栗岡 智行,
Chang Tso-Fu Mark,
大西 哲,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率における構造因子の研究,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-4,
Mar. 2023.
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宮井 良介,
栗岡 智行,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
大西 哲,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-5,
Mar. 2023.
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