論文

• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor, Japanese Journal of Applied Physics, The Japan Society of Applied Physics, Volume 54, Number 8, pp. 087202.1-087202.4, July 2015.
• 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之. 高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 一般社団法人 電気学会, vol. 135, no. 4, pp. 142-143, Apr. 2015.
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass, Microsystem Technologies, Springer Berlin Heidelberg, Vol. 22, pp. 459-464, Apr. 2015.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi. A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology, Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, pp. 04EE15.1-7, Mar. 2014.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers, Applied Physics Letters, Vol. 104, No. 7, pp. 74102, Feb. 2014.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi. An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 53, pp. 27202, Jan. 2014.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integratd Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52, No. 6, pp. 06GL04, June 2013.

国際会議発表 (査読有り)

• Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A MEMS Energy Harvesting Device for Integrated CMOS-MEMS Technology, 27th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), pp. 6C-5-5, Nov. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A 1mG-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor, IEEE SENSORS 2014, pp. 1591-1594, Nov. 2014.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida. A Novel Electromechanical Model of a MEMS Energy Harvesting Device for a Multi-physics Simulation Platform on a Circuit Simulator, International Conference on Solid State Devices and Materials, p. 100-101, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, International Conference on Solid State Devices and Materials, p. 974-975, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014), pp. P2-55, June 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer, 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014), pp. 113-116, May 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014), pp. 69-72, Apr. 2014.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Sub-1G MEMS Accelerometer, IEEE SENSORS 2013, pp. 171-174, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology, 2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), pp. G-4-2, Sept. 2013.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION, 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), pp. 22-25, June 2013.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers, 25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012), Oct. 2012.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer, 2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Sept. 2012.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読有り)

• 佐布 晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 29pm3-PM-5, Oct. 2015.
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 亀井将太, 益 一哉, 町田克之. 高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 益 一哉, 年吉洋, 町田克之. 回路シミュレータを用いたＭＥＭＳエネルギーハーベスティングデバイスの検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益 一哉, 町田克之. Ａｕ積層形成技術による３軸ＭＥＭＳ加速度センサの検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 集積化ＣＭＯＳ?ＭＥＭＳ技術によるＳｕｂ-１Ｇ加速度センサの基礎検討, 第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの特性評価, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 6PM3-PIM-002, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 6PM3-PIM-001, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, pp. 6PM3-PIM-003, Nov. 2013.  公式リンク  
  
• 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. 0.35μｍCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2012.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討, 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ, July 2012.  公式リンク  
  
• 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討(1), 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-019, Mar. 2012.
• 小西敏文, 本橋剛, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討 (2), 第59 回応用物理学関係連合講演会, 第59 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集, 応用物理学会, pp. 22-020, Mar. 2012.
• 本橋 剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉, 町田克之. 0.35μｍCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討, 2012.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-PB4-3, Sept. 2015.
• 寺西美波, Tso-Fu Mark Chang, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 伊藤浩之, 益 一哉, 曽根正人. 電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, p. 7, July 2015.
• 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人. 電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価, 平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 15-18, July 2015.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. エネルギーハーべスティングデバイスの検討（5）, 第62回応用物理学会春季学術講演会, p. 12-125, Mar. 2015.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討, 平成27年電気学会全国大会, Mar. 2015.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討, 第62回応用物理学会春季学術講演会, p. 17-189, Mar. 2015.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. エネルギーハーべスティングデバイスの検討（４）, 第７５回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-067, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 積層メタル構造による３軸加速度センサの検討, 第７５回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-066, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• 亀井将太, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 集積化CMOS?MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討, 第７５回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 13-065, Sept. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 亀井将太, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, pp. P4, July 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之. マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, pp. P7, July 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 亀井将太, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之. 積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, pp. P5, July 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討, 平成２６年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. MSS-14-002, May 2014.  公式リンク  
  
• 松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサ-２軸ＭＥＭＳ加速度センサの検討-, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 伊藤浩之, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 石原 昇, 町田克之, 益 一哉. RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. Sub-1G MEMS加速度センサの検討, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 加賀谷 賢, 山根大輔, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 益 一哉, 町田克之, 年吉 洋. エネルギーハーベスティングデバイスの検討（３）, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベスティングデバイスの検討（２）, 第６１回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討, 平成２６年電気学会全国大会, Mar. 2014.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益 一哉, 年吉 洋. CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-, 電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス研究会, SIPH2013-99, Oct. 2013.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基本特性評価, 第７４回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 18p-P11-4, Sept. 2013.
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. エネルギーハーベストデバイスの検討(1), 第７４回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 18p-P11-5, Sept. 2013.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討, 第７４回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 18p-P11-3, Sept. 2013.
• 佃 真文, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基礎検討, 平成２５年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会, pp. MSS-13-001, Aug. 2013.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 丸山智史, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益 一哉, 年吉 洋. 回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第４回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, July 2013.
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉. 金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化, 応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第４回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ, July 2013.
• 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの検討, 第６０回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションＬ（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, Mar. 2013.
• 小西敏文, 山根大輔, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの設計, 第６０回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションＬ（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, Mar. 2013.
• 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根大輔, 本橋 剛, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型ＣＭＯＳ-ＭＥＭＳ加速度センサのためのデバイスの評価, 第６０回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションＬ（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳの基礎と応用：異種機能集積化）, Mar. 2013.
• 松島 隆明, 小西 敏文, 本橋 剛, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討（3）, ２０１２年秋期第７３会応用物理学会学術講演会, Sept. 2012.  公式リンク  
  
• 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討（4）, ２０１２年秋期第７３会応用物理学会学術講演会, Sept. 2012.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉. アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討, July 2012.
• 小西 敏文, 丸山 智史, 松島 隆明, 三田 信, 町田 克之, 伊藤 浩之, 石原 昇, 益一哉, 藤田 博之, 年吉 洋. 集積化 CMOSCMOS--MEMSMEMS のための統合設計技術統合設計技術の検討 (2), 第 72 回応用物理学会学術講演会, 第 72 回応用物理学会学術講演会 講演予稿集(2011 秋 山形大学) 30a-E-14, 応用物理学会, p. 22-014, Aug. 2011.

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