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小西敏文 2016年 研究業績一覧 (30件 / 253件)
論文
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer,
Microelectronics Reliability,
Vol. 66,
pp. 78-84,
Nov. 2016.
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Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Teruaki Safu,
Masato Sone,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology,
IEEE Sensors 2016,
IEEE Proceeding,
pp. 1162-1164,
Oct. 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A 1-mG MEMS Sensor,
ECS Transactions,
vol. 72,
no. 3,
pp. 7-14,
May 2016.
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Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,
Microelectronics Engineering,
Vol. 153,
pp. 90-93,
Apr. 2016.
国際会議発表 (査読有り)
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hideaki Nakajima,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices,
29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016),
pp. 10D-5-1,
Nov. 2016.
公式リンク
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Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System,
2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016),
pp. 673-674,
Sept. 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,
2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016),
pp. 485-486,
Sept. 2016.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroyuki Ito,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology,
Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016),
pp. 299-300,
June 2016.
公式リンク
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Motohiro Takayasu,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Masakazu Sonobe,
Takumi Kobayashi,
Yamato Fukuta,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A study of railroad vehicle control by inertial sensors,
11th World Congress on Railway Research (11th WCRR),
May 2016.
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Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating,
ISE - Topical Meeting,
ISE - Topical Meeting,
Apr. 2016.
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Yota Ishizuka,
Sari Yanagida,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure,
ISE - Topical Meeting,
ISE - Topical Meeting,
Apr. 2016.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu,
Katsuyuki Machida.
A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology,
IEEE Inertial Sensors 2016,
pp. 148-149,
Feb. 2016.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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小西 敏文,
山根大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-007,
Oct. 2016.
公式リンク
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佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25pm4-PM-008,
Oct. 2016.
公式リンク
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山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-001,
Oct. 2016.
公式リンク
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山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討,
第8回集積化MEMSシンポジウム,
p. 25am2-PM-003,
Oct. 2016.
公式リンク
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權田 惇晟,
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討,
集積化MEMSシンポジウム,
p. 25pm4-PM-006,
Oct. 2016.
公式リンク
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高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
石原 昇,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
益 一哉.
RC発振器型高感度容量検出回路,
第8回 集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2016.
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寺西美波,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
山根大輔,
益一哉,
曽根正人,
小西敏文,
町田克之,
年吉洋.
電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2016.
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寺西 美波,
TSO-FU MARK CHANG,
陳 君怡,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2016.
国際会議発表 (査読なし・不明)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-3,
Sept. 2016.
公式リンク
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小西 敏文,
山根大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-1,
Sept. 2016.
公式リンク
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山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ,
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 14p-P5-2,
Sept. 2016.
公式リンク
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佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法(I),
第77回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 15p-B10-8,
Sept. 2016.
公式リンク
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高安 基大,
權田 惇晟,
山根 大輔,
小西 敏文,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価,
LSIとシステムのワークショップ2016,
May 2016.
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山根大輔,
小西敏文,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討,
電子情報通信学会2016年総合大会,
pp. C-10-16,
Mar. 2016.
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リュウ アンキ,
小西 敏文,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討,
電子情報通信学会2016年総合大会,
pp. C-12-13,
Mar. 2016.
公式リンク
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小西敏文,
山根大輔,
佐布晃昭,
年吉 洋,
曽根正人,
益 一哉,
町田克之.
積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
pp. 21p-P17-17,
Mar. 2016.
-
山根大輔,
小西敏文,
伊藤浩之,
年吉 洋,
益 一哉,
町田克之.
Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
pp. 21p-P17-18,
Mar. 2016.
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