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御宿希祐 研究業績一覧 (12件)
論文
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Devi Srujana Tenneti,
Chihaya Mukaide,
Kisuke Miyado,
Torauto Yamada,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage,
Japanese Journal of Applied Physics,
Apr. 2025.
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Kisuke Miyado,
Devi Srujana Tenneti,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 63,
No. 4,
p. 04SP23,
Feb. 2024.
公式リンク
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Akira Onishi,
Kisuke Miyado,
Devi Srujana Tenneti,
Katsuyuki Machida,
Parthojit Chakraborty,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology,
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
Mar. 2023.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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Devi Srujana Tenneti,
Kisuke Miyado,
Chihaya Mukaide,
Torauto Yamada,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Suppression of Warpage in Perforated Proof-Mass of Gold Single-Axis MEMS Accelerometers for Micro-g Level Sensing,
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
Sept. 2024.
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Kisuke Miyado,
Torauto Yamada,
Devi Srujana Tenneti,
Chihaya Mukaide,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Effect of Perforated Proof-Mass Hole Size on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing,
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
Sept. 2024.
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御宿 希祐Kisuke Miyado,
Devi.Srujana Tenneti,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Parthojit CHAKRABORTY,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Design Technique of Serpentine Spring with Half Edge Span Beam Length for High Sensitivity Gold Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer,
2023 International Conference on Solid State Devices and Materials,
Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Nagoya, 2023, pp325-326 G-2-02,
Sept. 2023.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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御宿 希祐,
大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之,
TENNETI DEVI,
町田 克之,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘１軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討,
第15回集積化MEMSシンポジウム,
第15回集積化MEMSシンポジウム論文集,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会,
Vol. 8A2-D-4,
Oct. 2023.
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御宿 希祐,
大西 哲,
Devi Srujana Tenneti,
町田 克之,
栗岡智行,
CHAKRABORTYP,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集,
Vol. 20p-B201-1,
Sept. 2023.
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御宿 希祐,
Tenneti Devi Srujana,
町田 克之,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
三宅 美博,
伊藤 浩之.
1 軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのFB電圧による錘変位特性の検討,
第14回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
p04,
Aug. 2023.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
町田克之,
CHAKRABORTYP,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
16a-B410-6,
Mar. 2023.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
22a-A406-2,
Sept. 2022.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討,
第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
Aug. 2022.
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