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三宅美博 2023年 研究業績一覧 (17件 / 521件)
論文
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Takumi Akiyama,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Impurity Analysis of Electroplated Gold Components with Multi-Layered Structures by Thermal Desorption Spectrometry toward Application in Gold Micro Electro Mechanical System Capacitive Accelerometers ,
Micro and Nano Engineering,
Vol. 21,
p. 100226,
Sept. 2023.
公式リンク
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Kosuke Suzuki,
Yiming Jiang,
Ryohei Hori,
Ken Hashigata,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Correlation of Sample Geometry and Grain Size in Micro-Bending of Electrodeposited Polycrystalline Gold,
Materials Today Communications,
Vol. 35,
p. 106072,
Apr. 2023.
公式リンク
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Akira Onishi,
Kisuke Miyado,
Devi Srujana Tenneti,
Katsuyuki Machida,
Parthojit Chakraborty,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology,
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),
Mar. 2023.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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Ryohei Hori,
Kazuya Fujita,
Chun-Yi Chen,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Evaluation of Cross-Sectional Geometry Effect of Au Polycrystalline Micro-cantilever on Bending Strength,
Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT2023),
Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT2023),
Nov. 2023.
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Masato Sone,
Tso-Fu Mark Chang,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-yi Chen,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake.
Mechanical Property Design of Multilayered Ti/Au Microcomponents by Electrodeposition Toward High-Sensitive MEMS Accelerometers,
244th ECS Meeting,
244th ECS Meeting,
Oct. 2023.
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Syunkai Watanabe,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Dependence of Structural Design on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers,
MNE2023,
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
Sept. 2023.
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Ryosuke Miyai,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Comprehensive Evaluation of Geometric Effects on Long-Term Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers toward Gold-MEMS Capacitive Accelerometer,
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
Sept. 2023.
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Syota Kanno,
Taro Omura,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone,
Tso-Fu Mark Chang.
Strain Rate Dependency of Mechanical Property in Micro-Compression of Electrodeposited Gold toward Design of MEMS Components,
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023),
Sept. 2023.
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御宿 希祐Kisuke Miyado,
Devi.Srujana Tenneti,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Parthojit CHAKRABORTY,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Design Technique of Serpentine Spring with Half Edge Span Beam Length for High Sensitivity Gold Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer,
2023 International Conference on Solid State Devices and Materials,
Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Nagoya, 2023, pp325-326 G-2-02,
Sept. 2023.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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御宿 希祐,
大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之,
TENNETI DEVI,
町田 克之,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討,
第15回集積化MEMSシンポジウム,
第15回集積化MEMSシンポジウム論文集,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会,
Vol. 8A2-D-4,
Oct. 2023.
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御宿 希祐,
大西 哲,
Devi Srujana Tenneti,
町田 克之,
栗岡智行,
CHAKRABORTYP,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討,
第84回応用物理学会秋季学術講演会,
第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集,
Vol. 20p-B201-1,
Sept. 2023.
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御宿 希祐,
Tenneti Devi Srujana,
町田 克之,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
三宅 美博,
伊藤 浩之.
1 軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのFB電圧による錘変位特性の検討,
第14回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
p04,
Aug. 2023.
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御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
町田克之,
CHAKRABORTYP,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
16a-B410-6,
Mar. 2023.
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保里 亮平,
藤田 一矢,
Chun-Yi Chen,
栗岡 智行,
Tso-Fu Mark Chang,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
単結晶金微小カンチレバーの曲げ強度に対する断面積の影響,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-4,
Mar. 2023.
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渡邉 春海,
Chen Chun-Yi,
栗岡 智行,
Chang Tso-Fu Mark,
大西 哲,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率における構造因子の研究,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-4,
Mar. 2023.
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宮井 良介,
栗岡 智行,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
大西 哲,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-5,
Mar. 2023.
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菅野 翔太,
大村 太郎,
栗岡 智行,
Chun-Yi Chen,
Parthojit Chakraborty,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人,
Tso-Fu Mark Chang.
金めっき微小ピラー構造体の微小圧縮試験におけるひずみ速度依存性とサンプルサイズ効果の解明,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
第70回応用物理学会春季学術講演会,
p. 16a-B410-2,
Mar. 2023.
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