論文

• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu. A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing, Sensors and Materials, Vol. 31, no. 9, pp. 2883-2894, July 2019.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology, 13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018), pp. WM-II-f₃243, Apr. 2018.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. LONG-TERM VIBRATION CHARACTERISTICS OF MEMS INERTIAL SENSORS BY MULTI-LAYER METAL TECHNOLOGY, Proceedings of the 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), IEEE Conference Publications, pp. 2187 - 2190, Aug. 2017.
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer, Microelectronics Reliability, Vol. 66, pp. 78-84, Nov. 2016.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology, IEEE Sensors 2016, IEEE Proceeding, pp. 1162-1164, Oct. 2016.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS, 32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), pp. 684-687, Jan. 2019.  公式リンク  
  
• Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), Nov. 2018.
• Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018), June 2018.
• Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Shinichi Iida. Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating, The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Nov. 2017.
• Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes, The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Nov. 2017.
• Shouta Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes, 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sept. 2017.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu. Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology, The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), pp. 2187-2190, June 2017.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu. Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices, 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016), pp. 10D-5-1, Nov. 2016.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology, 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), pp. 485-486, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), pp. 299-300, June 2016.  公式リンク  
  
• Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida. Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology, SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials, SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials, pp. 786-787, Sept. 2015.

国内会議発表 (査読有り)

• 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.
• 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ, 第10回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018.  公式リンク  
  
• 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2), 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 01am2-PLN-8, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価, 第9回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討, 第9回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2017.  公式リンク  
  
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25pm4-PM-008, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-001, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討, 第8回集積化MEMSシンポジウム, p. 25am2-PM-003, Oct. 2016.  公式リンク  
  
• 佐布 晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第7回集積化MEMSシンポジウム, pp. 29pm3-PM-5, Oct. 2015.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉. 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討, 第64回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2018.
• 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉. 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討, 平成30年電気学会全国大会, Mar. 2018.
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉. 金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2017.  公式リンク  
  
• 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（１）, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-14, Mar. 2017.
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-17, Mar. 2017.
• 小西敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討, 応用物理学会 2017年春季講演会, 応用物理学会 2017年春季講演会, p. 14p-P3-16, Mar. 2017.
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14p-P5-2, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I）, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15p-B10-8, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 山根大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之. 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討, 第77回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 14p-P5-3, Sept. 2016.  公式リンク  
  
• 小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. 積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討, 第63回応用物理学会春季学術講演会, pp. 21p-P17-17, Mar. 2016.
• 佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之. MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, pp. 15a-PB4-3, Sept. 2015.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]