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町田克之 研究業績一覧 (6件 / 425件)
論文
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Ryosuke Miyai,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Clarification of Geometric Effects on Long-Term Structural Stability of Ti/Au Multi- Layered Micro-Cantilevers,
Micro and Nano Engineering,
p. 100244,
Mar. 2024.
公式リンク
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Kisuke Miyado,
Devi Srujana Tenneti,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 63,
No. 4,
p. 04SP23,
Feb. 2024.
公式リンク
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Taro Omura,
Tomoyuki Kurioka,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Akira Onishi,
Parthojit Chakraborty,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki ; Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Warpage Study of the Electrodeposited-Au Micro-Components Having the Ti/Au Multi-layered Structures toward MEMS Applications,
Journal of The Electrochemical Society,
Vol. 171,
p. 032501,
Feb. 2024.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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宮井 良介,
栗岡 智行,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの 構造安定性に対する熱処理の影響評価,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc.,
p. 23a-12K-1,
Mar. 2024.
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森 達彦,
栗岡 智行,
Chen Chun-Yi,
Chang Tso-Fu Mark,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc.,
p. 23a-12K-2,
Mar. 2024.
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菅野 翔太,
大村 太郎,
栗岡 智行,
Chun-Yi Chen,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人.
MEMS加速度センサへの応用に向けためっき金の微小圧縮試験によるひずみ速度依存性調査,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc.,
p. 23a-12K-3,
Mar. 2024.
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